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2020-11-24
流量傳感器想必大家都知道它分為檢測液體流量、氣體流量，以下我們來談下空氣流量傳感器：
MEMS氣體質量bai流量計采用具有自主知識產du權的zhiMEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質dao流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質質量流量.
以下我們來看下歐姆龍流量傳感器的結構：
歐姆龍MEMS氣體流量傳感器特點：
1、高精度測量微流量
采用溫差檢測方式，實現(xiàn)±3% F.S.的高精度傳感
2、溫度特性 實現(xiàn) ±3% F.S.
溫度的影響小，無需進行溫度補償即可測量質量流量
3、可優(yōu)化質量流量的高速響應性
實現(xiàn)了高速響應性，輸出達到 ±3% F.S 只需20ms
優(yōu)化空燃比并提高了測量可靠性
4、應用廣泛的低功耗
熱電堆為熱電動勢輸出方式，功耗低于電阻式
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